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产品信息
AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器是输出为1-5V 的气体质量流量传感器，图1、图2、图3 分别为AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路图。
图1AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路 图2 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的双传感电路
3图 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的差分放大电路图
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推荐型号 |
量程 |
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AWM3100V |
+200SCCM |
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AWM3201CR |
± |
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AWM3200V |
± |